能量色散X熒光光譜儀至今還沒有形成統(tǒng)一的檢定規(guī)程。因此，根據(jù)儀器的實際檢定要求，參考相關儀器的檢定規(guī)程，對能量色散X熒光光譜儀的檢定方法進行了深入的研究和探討,提出了能量色散X射線熒光光譜儀的檢定方法。
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